HOME > 口頭発表 > 詳細TMGa添加ポストアニール処理によるc面サファイア基板上AlNの結晶品質改善著者井村 将隆, 稲葉 英樹, 間野 高明, 石田 暢之, 上杉 文彦, 黒田 陽子, 中山 佳子, 竹口 雅樹, 小出 康夫. 会議名2022年第69回応用物理学会春季学術講演会発表年2022言語Japanese
