HOME > 口頭発表 > 書誌詳細TMGa添加ポストアニール処理によるc面サファイア基板上AlNの結晶品質改善井村 将隆, 稲葉 英樹, 間野 高明, 石田 暢之, 上杉 文彦, 黒田 陽子, 中山 佳子, 竹口 雅樹, 小出 康夫. 2022年第69回応用物理学会春季学術講演会. 2022年03月22日-2022年03月26日.NIMS著者井村 将隆間野 高明石田 暢之上杉 文彦中山 佳子竹口 雅樹小出 康夫Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻: 2022-04-12 03:25:26 +0900更新時刻: 2022-04-12 03:25:26 +0900
