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著者名鈴木慶太郎, 横野茂輝, 神永惇, 深田 直樹, 関口 隆史, 菱田 俊一, 村上浩一.
タイトルSi+イオン注入によるSiナノワイヤ中へのSiナノ結晶形成・制御
(Formation of Si nanocrystals in Si nanowires by Si+ Ion implantation)
会議名秋季第72回応用物理学会学術講演会
発表年2012
言語Japanese
外部での文献参照

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