イオン注入熱酸化法による酸化物ナノ粒子の形成
(Formation of oxide-nanoparticles by ion implantation combined with thermal oxidation)
第16回日本MRS学術シンポジウム. 2005.
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2017-01-08 04:09:24 +0900更新時刻: 2017-07-10 19:27:09 +0900