イオン注入熱酸化法による酸化物ナノ粒子の形成
(Formation of oxide-nanoparticles by ion implantation combined with thermal oxidation)
第16回日本MRS学術シンポジウム. 2005年12月10日-2005年12月11日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 04:09:24 +0900 更新時刻: 2017-07-10 19:27:09 +0900