レーザーアブレーションにより生成されたシリコンナノワイヤへの不純物ドーピングと不純物偏析挙動
(DOPING AND SEGREGATION OF IMPURITY ATOMS IN SILICON NANOWIRES SYNTHSIZED BY LASER ABLATION)
The 10th International Conference on Laser Ablation. 2009.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:07:26 +0900更新時刻: 2017-07-10 20:42:27 +0900