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レーザーアブレーションにより生成されたシリコンナノワイヤへの不純物ドーピングと不純物偏析挙動
(DOPING AND SEGREGATION OF IMPURITY ATOMS IN SILICON NANOWIRES SYNTHSIZED BY LASER ABLATION)

深田 直樹, 陳 君, 関口 隆史, 瀬岡雅典, 齋藤直之, 村上浩一.
The 10th International Conference on Laser Ablation. 2009.

NIMS author(s)


Fulltext and dataset(s) on Materials Data Repository (MDR)


    Created at: 2017-02-14 11:07:26 +0900Updated at: 2017-07-10 20:42:27 +0900

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