HOME > 口頭発表 > 書誌詳細TiO2/Al2O3/TiO2スタック絶縁膜を用いたMIMキャパシタの電気特性に対するAl2O3膜厚の影響(The influence of Al2O3 thickness to the electrical properties of MIM capacitor which deposited TiO2/Al2O3/TiO2 stack insulation film.)澤田 朋実, 生田目 俊秀, ダオ デュイ タン, 山本 逸平, 栗島 一徳, 女屋崇, 大井 暁彦, 大石知司, 小椋厚志, 長尾 忠昭. 日本金属学会 2015年秋期(第157回)講演大会. 2015.NIMS著者生田目 俊秀大井 暁彦長尾 忠昭Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻: 2017-02-14 11:06:56 +0900更新時刻: 2017-07-10 22:10:50 +0900