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著者名澤田 朋実, 生田目 俊秀, ダオ デュイ タン, 山本 逸平, 栗島 一徳, 女屋崇, 大井 暁彦, 大石知司, 小椋厚志, 長尾 忠昭.
タイトルTiO2/Al2O3/TiO2スタック絶縁膜を用いたMIMキャパシタの電気特性に対するAl2O3膜厚の影響
(The influence of Al2O3 thickness to the electrical properties of MIM capacitor which deposited TiO2/Al2O3/TiO2 stack insulation film.)
会議名日本金属学会 2015年秋期(第157回)講演大会
発表年2015
言語Japanese
外部での文献参照

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