HOME > Presentation > Detail
TiO2/Al2O3/TiO2スタック絶縁膜を用いたMIMキャパシタの電気特性に対するAl2O3膜厚の影響
(The influence of Al2O3 thickness to the electrical properties of MIM capacitor which deposited TiO2/Al2O3/TiO2 stack insulation film.)
日本金属学会 2015年秋期(第157回)講演大会. 2015.
NIMS author(s)
Fulltext and dataset(s) on Materials Data Repository (MDR)
Created at: 2017-02-14 11:06:56 +0900Updated at: 2017-07-10 22:10:50 +0900