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Metal glass application as the gate materials for the future ULSI

著者知京 豊裕, 大毛利 健治, 長田 貴弘, 柳生 進二郎, 吉武 道子, 渡部 平司, 山田 啓作.
会議名第5回NIMS-マックスプランク研究所ワークショップ
発表年2007
言語Japanese

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