HOME > Presentation > DetailMetal glass application as the gate materials for the future ULSI知京 豊裕, 大毛利 健治, 長田 貴弘, 柳生 進二郎, 吉武 道子, 渡部 平司, 山田 啓作. 第5回NIMS-マックスプランク研究所ワークショップ. 2007. InvitedNIMS author(s)CHIKYO, ToyohiroNAGATA, TakahiroYAGYU, ShinjiroYOSHITAKE, MichikoFulltext and dataset(s) on Materials Data Repository (MDR)Created at :2017-02-14 11:36:09 +0900 Updated at :2024-03-05 11:41:39 +0900