イオン注入によるSiナノワイヤへの不純物ドーピングと電気的活性化
(Impurity doping in Si nanowires by ion-implantation and electrical activation of implanted impurities)
2009年秋季 第70回 応用物理学会 学術講演会. 2009.
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2017-02-14 11:03:30 +0900更新時刻: 2017-07-10 20:36:22 +0900