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著者名寺地 徳之, 渡邊 賢司, 嶋岡 毅紘, 市川 公善, 小泉 聡.
タイトルCVDダイヤモンド基板上に成長したダイヤモンド薄膜の結晶性
(Crystalline quality of homoepitaxial film grown on CVD substrate)
会議名先進パワー半導体分科会 第6回講演会
発表年2019
言語Japanese

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