CVDダイヤモンド基板上に成長したダイヤモンド薄膜の結晶性
(Crystalline quality of homoepitaxial film grown on CVD substrate)
先進パワー半導体分科会 第6回講演会. 2019.
NIMS著者
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作成時刻: 2020-01-28 03:00:22 +0900更新時刻: 2020-01-28 03:00:22 +0900