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著者名NAGATA, Takahiro, UEDA, Shigenori, YAMASHITA, Yoshiyuki, MATSUDA, Asahiko, CHIKYOW, Toyohiro.
タイトルDevelopment of fluoride based high-k dielectric thin film for GaN MIS capacitor
会議名2017 IWDTF
発表年2017
言語English
外部での文献参照

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