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著者名松下聡, 深田 直樹, 瀬岡雅典, 鶴井隆雄, 陳 君, 関口 隆史, 内田紀行, 村上浩一.
タイトル熱酸化によるPドープSiナノワイヤ中のP原子の偏析挙動
(Precipitation of P atoms in P-doped Si nanowires by thermal oxidation)
会議名2007年春季第54回応用物理学関係連合講演会
発表年2007
言語Japanese
外部での文献参照

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