熱酸化によるPドープSiナノワイヤ中のP原子の偏析挙動
(Precipitation of P atoms in P-doped Si nanowires by thermal oxidation)
2007年春季第54回応用物理学関係連合講演会. 2007.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:31:47 +0900更新時刻: 2017-07-10 19:50:20 +0900