HOME > Presentation > Detail熱酸化によるPドープSiナノワイヤ中のP原子の偏析挙動(Precipitation of P atoms in P-doped Si nanowires by thermal oxidation)松下聡, 深田 直樹, 瀬岡雅典, 鶴井隆雄, 陳 君, 関口 隆史, 内田紀行, 村上浩一. 2007年春季第54回応用物理学関係連合講演会. March 27, 2007-March 30, 2007.NIMS author(s)FUKATA, NaokiCHEN, JunFulltext and dataset(s) on Materials Data Repository (MDR)Created at: 2017-02-14 11:31:47 +0900Updated at: 2017-07-10 19:50:20 +0900