HOME > 口頭発表 > 書誌詳細RuO2シードを用いたPE-ALD法で作製したRuO2膜の特性(Characterization of RuO2 film by using plasma enhanced ALD with RuO2 seed)澤田 朋実, 生田目 俊秀, ダオ デュイ タン, 山本 逸平, 栗島 一徳, 大井 暁彦, 大石知司, 小椋厚志, 長尾 忠昭. 金属学会 2014年秋期(第155回)講演大会. 2014.NIMS著者生田目 俊秀大井 暁彦長尾 忠昭Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻 :2017-01-08 04:02:57 +0900 更新時刻 :2017-07-10 21:56:09 +0900