SAMURAI - NIMS Researchers Database

HOME > 口頭発表 > 詳細

口頭発表の表示

著者名澤田 朋実, 生田目 俊秀, ダオ デュイ タン, 山本 逸平, 栗島 一徳, 大井 暁彦, 大石知司, 小椋厚志, 長尾 忠昭.
タイトルRuO2シードを用いたPE-ALD法で作製したRuO2膜の特性
(Characterization of RuO2 film by using plasma enhanced ALD with RuO2 seed)
会議名金属学会 2014年秋期(第155回)講演大会
発表年2014
言語Japanese
外部での文献参照

▲ページトップへ移動