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RuO2シードを用いたPE-ALD法で作製したRuO2膜の特性
(Characterization of RuO2 film by using plasma enhanced ALD with RuO2 seed)

金属学会 2014年秋期(第155回)講演大会. 2014.

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    作成時刻 :2017-01-08 04:02:57 +0900 更新時刻 :2017-07-10 21:56:09 +0900

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