RuO2シードを用いたPE-ALD法で作製したRuO2膜の特性
(Characterization of RuO2 film by using plasma enhanced ALD with RuO2 seed)
金属学会 2014年秋期（第155回）講演大会. 2014年09月24日-2014年09月26日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 04:02:57 +0900 更新時刻: 2017-07-10 21:56:09 +0900