HOME > Presentation > DetailRuO2シードを用いたPE-ALD法で作製したRuO2膜の特性(Characterization of RuO2 film by using plasma enhanced ALD with RuO2 seed)澤田 朋実, 生田目 俊秀, ダオ デュイ タン, 山本 逸平, 栗島 一徳, 大井 暁彦, 大石知司, 小椋厚志, 長尾 忠昭. 金属学会 2014年秋期(第155回)講演大会. 2014.NIMS author(s)NABATAME, ToshihideOHI, AkihikoNAGAO, TadaakiFulltext and dataset(s) on Materials Data Repository (MDR)Created at: 2017-01-08 04:02:57 +0900Updated at: 2017-07-10 21:56:09 +0900