二層 InSiO 薄膜トランジスタ の水素還元とオゾン酸化効果
(Effect of Hydrogen and Oxon Aneeling in Double-layer InSiO Thin-Film Transistors)
第63回応用物理学会春季学術講演会. 2016.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 10:56:45 +0900更新時刻: 2017-07-10 22:22:08 +0900