Imaging of Leakage Sites in High-k Gate Electrode by using Electron-beam-induced Current Technique
International Conference onSolid State Devices and Materials. 2008年09月23日-2008年09月26日. 招待講演
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:16:58 +0900 更新時刻: 2024-03-05 11:42:05 +0900