SiC熱酸化により生成するSiO2/SiC界面の化学種に関する理論的研究
(A theoretical study on the chemical species produced at an SiO2/SiC interface by thermal SiC oxidation)
先進パワー半導体分科会第二回講演会. 2015.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:35:42 +0900更新時刻: 2017-07-10 22:18:47 +0900