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著者名山崎 隆浩, 田島 暢夫, 金子 智昭, 奈良 純, 清水達雄, 加藤弘一, 大野 隆央.
タイトルSiC熱酸化により生成するSiO2/SiC界面の化学種に関する理論的研究
(A theoretical study on the chemical species produced at an SiO2/SiC interface by thermal SiC oxidation)
会議名先進パワー半導体分科会第二回講演会
発表年2015
言語Japanese
外部での文献参照

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