Scalable growth of atomically-thin MoS2 layers in conventional MOCVD system using molybdenum oxychloride as the molybdenum source
ICCGE-20. 2023年07月30日-2023年08月04日.
NIMS著者
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作成時刻: 2023-09-06 04:00:05 +0900更新時刻: 2023-09-06 04:00:05 +0900