PDAによるALD-La2O3及びALD-Al2O3ダイポール効果の変化
(Changes in dipole effects of ALD-La2O3 and ALD-Al2O3 using PDA)
2026年 第73回応用物理学会春季学術講演会. 2026年03月15日-2026年03月18日.
NIMS著者
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作成時刻: 2026-08-05 03:08:14 +0900 更新時刻: 2026-08-05 03:08:14 +0900