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High-temperature Magnetic Sensor Based on Single-crystal Diamond MEMS
(ダイヤモンドMEMSを用いた高温磁気センサ)

著者廖 梅勇, ジャン ジロン, サン リウエン, 小出 康夫, 小泉 聡.
会議名2021年第82回応用物理学会秋季学術講演会
発表年2021
言語English

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