ZrO2/Al2O3/ZrO2スタック構造を用いたDRAMキャパシタにおける リーク電流特性の改善
(Improvement of leakage current properties for DRAM capacitors with ZrO2/Al2O3/ZrO2 stack structure)
第63回応用物理学会春季学術講演会. 2016.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:02:42 +0900更新時刻: 2017-07-10 22:20:33 +0900