HOME > Presentation > Detailルチル型TiO2緩衝層を用いたHigh-k/Ge界面構造制御に関する研究(Interface Engineering of High-k/Ge Gate StackStructure by Rutile TiO2 Buffer Layer)長田 貴弘, 小橋 和義, 生田目 俊秀, 山下 良之, 小椋 厚志, 知京 豊裕. ゲートスタック研究会―材料・プロセス・評価の物理―(第19回). 2014.NIMS author(s)NAGATA, TakahiroNABATAME, ToshihideYAMASHITA, YoshiyukiCHIKYO, ToyohiroFulltext and dataset(s) on Materials Data Repository (MDR)Created at: 2017-02-14 11:40:51 +0900Updated at: 2017-07-10 21:45:28 +0900