反応性スパッタリング法によるMoドープした酸化スズ膜の形成
(Fabrication of Tin oxide films by reactive sputtering using a Sn-Mo metal-sintered target)
金属学会 2015年春期（第156回）講演大会. 2015年03月18日-2015年03月20日.
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作成時刻: 2017-01-08 04:53:05 +0900更新時刻: 2017-07-10 22:03:30 +0900