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著者名澤田 朋実, 生田目 俊秀, 石井 智, ダオ デュイ タン, 山本 逸平, 栗島 一徳, 大井 暁彦, 大石知司, 小椋厚志, 長尾 忠昭.
タイトル反応性スパッタリング法によるMoドープした酸化スズ膜の形成
(Fabrication of Tin oxide films by reactive sputtering using a Sn-Mo metal-sintered target)
会議名金属学会 2015年春期(第156回)講演大会
発表年2015
言語Japanese
外部での文献参照

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