Effect of Energy Dissipation in Higher-Order Resonance on SCD MEMS Cantilevers Toward High f·Q
2023年第84回応用物理学会秋季学術講演会. 2023年09月19日-2023年09月23日.
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作成時刻: 2023-09-27 03:21:26 +0900 更新時刻: 2023-09-27 03:21:26 +0900