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シリコンナノワイヤへの不純物ドーピングと欠陥評価
(Impurity doping and defects in silicon nanowires)

深田 直樹, 瀬岡雅典, 齋藤直之, 陳 君, 関口 隆史, 村上浩一.
第18回 格子欠陥フォーラム. 2008. 招待講演

NIMS著者


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    作成時刻: 2017-02-14 11:18:26 +0900更新時刻: 2024-03-05 11:42:04 +0900

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