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著者名山本 逸平, 生田目 俊秀, 澤田 朋実, 大井 暁彦, 栗島 一徳, ダオ デュイ タン, 長尾 忠昭, 知京 豊裕, 小椋厚志, 大石知司.
タイトルTMA原料とTiO2膜の酸素の自己制御型反応によるアナターゼTiO2膜への酸素欠損の形成のメカニズム
(Mechanism of Vo formation into polycrystalline anatase TiO2 (anatase-TiO2) by self-limiting reaction with TMA and oxygen of TiO2)
会議名電子デバイス界面テクノロジー研究会(第21回)
発表年2016
言語Japanese
外部での文献参照

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