TMA原料とTiO2膜の酸素の自己制御型反応によるアナターゼTiO2膜への酸素欠損の形成のメカニズム
(Mechanism of Vo formation into polycrystalline anatase TiO2 (anatase-TiO2) by self-limiting reaction with TMA and oxygen of TiO2)
電子デバイス界面テクノロジー研究会（第21回）. 2016.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:06:10 +0900更新時刻: 2017-07-10 22:17:01 +0900