高周波グロー放電スパッタ（rf-GDS）を利用したナノインデンテーション用 バルクサンプルに対する表面仕上げ法の試行
(Application of rf-GDS on the surface treatment for nano-indentation samples)
2013年日本金属学会秋期大会. 2013年09月17日-2013年09月19日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 03:43:06 +0900更新時刻: 2017-07-10 21:44:07 +0900