HOME > Presentation > Detail高周波グロー放電スパッタ(rf-GDS)を利用したナノインデンテーション用 バルクサンプルに対する表面仕上げ法の試行(Application of rf-GDS on the surface treatment for nano-indentation samples)関戸 信彰, 大村 孝仁, 津﨑 兼彰. 2013年日本金属学会秋期大会. September 17, 2013-September 19, 2013.NIMS author(s)OHMURA, TakahitoTSUZAKI, KaneakiFulltext and dataset(s) on Materials Data Repository (MDR)Created at: 2017-01-08 03:43:06 +0900Updated at: 2017-07-10 21:44:07 +0900