メタル/High-kトランジスタにおけるゲート絶縁膜としてのALD-TiO2膜
(ALD-TiO2 as gate insulator for Metal/High-k transistor)
NIMS Conference 2013. 2013. 招待講演
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 03:33:01 +0900更新時刻: 2024-03-05 11:44:33 +0900