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原料ガスの高効率利用による同位体濃縮ダイヤモンドの合成
(Effective use of methane for isotopic enriched diamond growth)
SiC及び関連半導体研究 第22回講演会. 2013.
NIMS author(s)
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Created at: 2017-01-08 03:51:49 +0900Updated at: 2017-07-10 21:45:16 +0900