SAMURAI - NIMS Researchers Database

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AuthorTERAJI, Tokuyuki, TANIGUCHI, Takashi, KOIZUMI, Satoshi, KOIDE, Yasuo, Isoya Junichi.
Title原料ガスの高効率利用による同位体濃縮ダイヤモンドの合成
(Effective use of methane for isotopic enriched diamond growth)
Event nameSiC及び関連半導体研究 第22回講演会
Year of publication2013
LanguageJapanese

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