メタルマスクを用いた(111)ダイヤモンド選択成長と水素終端ダイヤモンド FET への応用
(Selective growth of diamond (111) by metal mask and its application for hydrogen terminated diamond FET)
第66回応用物理学会 春季学術講演会. 2019.
NIMS著者
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作成時刻: 2019-04-17 03:14:41 +0900更新時刻: 2019-04-17 03:14:41 +0900