Efficient etching of diamond by oxygen annealing toward high-Q factor diamond MEMS resonators

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チンユンリン, サンフアンイン, SANG, Liwen, KOIZUMI, Satoshi, KOIDE, Yasuo, Xiaoxi Liu, LIAO, Meiyong.

E-MRS Spring Meeting 2022 https://www.european-mrs.com/advanced-carbon-materials-emrs. 2022年05月30日-2022年06月03日. 招待講演

作成時刻: 2022-07-21 03:17:03 +0900更新時刻: 2024-03-05 12:21:58 +0900