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著者名瀬岡雅典, 松下聡, 深田 直樹, 鶴井隆雄, 陳 君, 関口 隆史, 内田紀行, 村上浩一.
タイトルSiナノワイヤへのPドーピングと熱酸化によるPの偏析挙動
(P doping in silicon nanowires and segregation of P atoms during oxidation)
会議名ナノ学会第5回大会
発表年2007
言語Japanese
外部での文献参照

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