ＳｉナノワイヤへのPドーピングと熱酸化によるPの偏析挙動
(P doping in silicon nanowires and segregation of P atoms during oxidation)
ナノ学会第5回大会. 2007年05月21日-2007年05月23日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 03:34:56 +0900 更新時刻: 2017-07-10 19:55:37 +0900