ダイヤモンドFETのための原子層堆積成長
(Atomic Layer Deposition Technique for Diamond-based Field Effect Transistors)
NIMS Conference 2013. 2013年07月01日-2013年07月03日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-26 20:41:47 +0900更新時刻: 2017-12-27 21:24:52 +0900