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Study of HfSiOx film as gate insulator for GaN power device

生田目 俊秀, 前田 瑛里香, 井上 万里, Ryota Och, 色川 芳宏, Tamotsu Hashizume, Koji Shiozaki, 小出 康夫.
20th International Workshop on Junction Technology 2021. 2021年06月10日-2021年06月11日. 招待講演

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    作成時刻: 2021-08-19 03:00:20 +0900更新時刻: 2024-03-05 12:21:41 +0900

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