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著者名FUKATA, Naoki, Masanori Seoka, Naoyuki Saito, CHEN, Jun, SEKIGUCHI, Takashi, Kouichi Murakami.
タイトルDoping and segregation of impurity atoms in silicon nanowires
(Siナノワイヤ中への不純物ドーピングと不純物の偏析挙動)
会議名ICDS25
発表年2009
言語English
外部での文献参照

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