Role of Interlayer in ZrO2/high-k/ZrO2 Insulating Multilayer on Electrical Properties for DRAM Capacitor
PRiME 2016 (2016年電気化学会(ECSJ)秋季大会). 2016年10月02日-2016年10月07日.
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作成時刻: 2017-02-14 11:27:43 +0900 更新時刻: 2018-06-05 13:57:20 +0900