Role of Interlayer in ZrO2/high-k/ZrO2 Insulating Multilayer on Electrical Properties for DRAM Capacitor
PRiME 2016 (2016年電気化学会(ECSJ)秋季大会). 2016.
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2017-02-14 11:27:43 +0900更新時刻: 2018-06-05 13:57:20 +0900