MOCVD法によるウエハスケール単層MoS2の高配向エピタキシャル成長
(Highly-aligned epitaxial growth of wafer-scale monolayer MoS2 by MOCVD)
第84回応用物理学会秋季学術講演会. 2023.
NIMS著者
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作成時刻: 2023-09-27 03:21:27 +0900更新時刻: 2023-09-27 03:21:27 +0900