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MOCVD法によるウエハスケール単層MoS2の高配向エピタキシャル成長
(Highly-aligned epitaxial growth of wafer-scale monolayer MoS2 by MOCVD)
第84回応用物理学会秋季学術講演会. September 19, 2023-September 23, 2023.
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Created at: 2023-09-27 03:21:27 +0900 Updated at: 2023-09-27 03:21:27 +0900