HOME > 口頭発表 > 書誌詳細HfO2ゲートスタックにおける(TaC)1-xAlx電極のAl原子がVfbに果たす役割 (Role of Al atoms in (TaC)1-xAlx gate electrode on Vfb for HfO2 gate stack)木村 将之, 生田目 俊秀, 山田 博之, 大井 暁彦, 知京 豊裕, 大石知司. The 3rd NIMS(MANA)- Waseda International Symposium. 2011.NIMS著者生田目 俊秀大井 暁彦知京 豊裕Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻: 2017-01-08 03:22:56 +0900更新時刻: 2017-07-10 21:12:05 +0900