ＥＢＩＣとＴＥＭによってHigh-kゲートスタック構造のリーク電流欠陥の研究
(EBIC and TEM Investigations of Current Leakage Sites in High-k Gate Stacks)
第10回High-kネット報告会. 2010.
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2017-02-14 11:02:04 +0900更新時刻: 2017-07-10 20:44:59 +0900