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著者名陳 君, 関口 隆史, 深田 直樹, 高瀬 雅美, 根本 善弘, 蓮沼隆, 山部紀久夫, 佐藤基之, 山田啓作, 知京 豊裕.
タイトルEBICとTEMによってHigh-kゲートスタック構造のリーク電流欠陥の研究
(EBIC and TEM Investigations of Current Leakage Sites in High-k Gate Stacks)
会議名第10回High-kネット報告会
発表年2010
言語Japanese
外部での文献参照

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