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著者名山本 逸平, 生田目 俊秀, 澤田 朋実, 大井 暁彦, 栗島 一徳, ダオ デュイ タン, 長尾 忠昭, 知京 豊裕, 小椋厚志, 大石知司.
タイトルXPSを用いたトリメチルアルミニウムガスによるTiO2膜からの自己制御型の酸素脱離メカニズムの解析
(Mechanism of Vo formation into polycrystalline anatase TiO2 films by self-limiting reaction with TMA and oxygen of TiO2)
会議名日本金属学会 2016年春季講演大会
発表年2016
言語Japanese
外部での文献参照

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