XPSを用いたトリメチルアルミニウムガスによるTiO2膜からの自己制御型の酸素脱離メカニズムの解析
(Mechanism of Vo formation into polycrystalline anatase TiO2 films by self-limiting reaction with TMA and oxygen of TiO2)
日本金属学会 2016年春季講演大会. 2016.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 03:37:08 +0900更新時刻: 2017-07-10 22:19:04 +0900