新規なLaTiO及びAlTiOダイポール層によるHfZrOキャパシタのVfb調整
(Vfb control of HfZrO capacitors using new LaTiO and AlTiO dipole layers)
2026年 第87回応用物理学会秋季学術講演会. 2026年09月08日-2026年09月11日.
NIMS著者
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作成時刻: 2026-09-15 03:06:50 +0900 更新時刻: 2026-09-15 03:06:50 +0900