SAMURAI - NIMS Researchers Database

NIMS Award Symposium 2026

HOME > Presentation > Detail

新規なLaTiO及びAlTiOダイポール層によるHfZrOキャパシタのVfb調整
(Vfb control of HfZrO capacitors using new LaTiO and AlTiO dipole layers)

生田目 俊秀, 澤田 朋実, 三浦 博美, 宮本 真奈美, 女屋 崇, 塚越 一仁, 深田 直樹, ジェバスワン ウイパコーン, 右田 真司.
2026年 第87回応用物理学会秋季学術講演会. September 08, 2026-September 11, 2026.

NIMS author(s)

Fulltext and dataset(s) on Materials Data Repository (MDR)

    Created at: 2026-09-15 03:06:50 +0900 Updated at: 2026-09-15 03:06:50 +0900

    ▲ Go to the top of this page