イオン注入シリコンナノワイヤの再結晶化とドーパンント原子の電気的活性化
(Recrystallization and reactivation of dopant atoms in ion-implanted silicon nanowires)
ICDS27. 2013年07月22日-2013年07月26日. 招待講演
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 04:35:28 +0900 更新時刻: 2024-03-05 11:44:35 +0900