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著者名FUKATA, Naoki, KAMINAGA, Jun, SEKIGUCHI, Takashi, HISHITA, Shunichi, Kouichi Murakami.
タイトルRecrystallization and reactivation of dopant atoms in ion-implanted silicon nanowires
(イオン注入シリコンナノワイヤの再結晶化とドーパンント原子の電気的活性化)
会議名ICDS27
発表年2013
言語English
外部での文献参照

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