SiナノワイヤへのホットインプランテーションによるPドーピング
(Phosphorus doping in silicon nanowires by hot-implantation)
秋季第72回応用物理学会学術講演会. 2011年08月29日-2011年09月02日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 03:33:23 +0900更新時刻: 2017-07-10 21:08:30 +0900