SAMURAI - NIMS Researchers Database

HOME > 口頭発表 > 詳細

口頭発表の表示

著者名石田慎哉, 滝口亮, 横野茂輝, 鈴木慶太郎, 深田 直樹, 菱田 俊一, 関口 隆史, 村上浩一.
タイトルSiナノワイヤへのホットインプランテーションによるPドーピング
(Phosphorus doping in silicon nanowires by hot-implantation)
会議名秋季第72回応用物理学会学術講演会
発表年2011
言語Japanese
外部での文献参照

▲ページトップへ移動