The Effect of Dummy-SiO2 Process Conditions on Beta-Ga2O3 Surface Modification

NABATAME, Toshihide, ONAYA, Takashi, SAWADA, Tomomi, 三浦博美, 宮本真奈美, TSUKAGOSHI, Kazuhito, IROKAWA, Yoshihiro.

16th International Conference on Atomically Controlled Surfaces, Interfaces and Nanostructures (ACSIN-16) & 34th International Colloquium on Scanning Probe Microscopy (ICSPM34). 2026年10月19日-2026年10月23日.

NIMS著者

生田目俊秀
女屋崇
塚越一仁
色川芳宏

Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット

作成時刻: 2026-10-28 03:07:21 +0900 更新時刻: 2026-10-28 03:07:21 +0900